reactive sputtering system

基本解释反应性溅镀系统

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1)reactive sputtering system,反应性溅镀系统2)reactive sputter etching system,反应性溅镀蚀刻系统3)sputtering system,溅镀系统4)sputter-gun sputtering system,溅射枪溅镀系统5)bias sputtering system,偏压溅镀系统6)co-sputtering system,共同溅镀系统

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